怎么检测超纯水达标「体检一般检查哪些项目」
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超纯水检测范围:
电子级超纯水,工业超纯水,医用超纯水等。
超纯水检测项目:
微粒子检测,电阻率检测,微生物检测,水质检测,标准离子含量,余氯检测,二氧化硅检测,微量元素检测,吸光度检测,细菌总数检测,硬度检测。
检测标准:
ASTM D4453-2011 超纯水试样处理规程
ASTM D5127-2007 电子和半导体工业用超纯水的指南
ASTM D7980-2015 对半导体工业中超纯水瞬时样品阴离子进行离子色谱分析的指南
JIS K0550-1994 超纯水中细菌数的试验方法
JIS KO551-1994 超纯水中总有机炭(TOC)的试验方法
JIS K0552-1994 超纯水中电导率的试验方法
JIS K0553-2002 超纯水中金属元素的试验方法
JIS KO554-1995 超纯水中微粒子测定方法
JIS KO555-1995 超纯水中二氧化硅的试验方法
JS KO556-1995 超纯水中阴离子的试验方法